예스티, 반도체 고압 어닐링 장비 국책과제 선정반도체 장비 전문기업 예스티는 산업통상자원부가 주관하는 '차세대 지능형반도체 기술개발 사업'에 선정돼 반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 추진한다고 27일 밝혔다.

기존 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 자체 보유한 설계 기술을 기반으로 150~900℃ 사이의 온도 및 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다.

차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 개발 목표는 웨이퍼 처리량과 공정 확대성을 현재 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가시키는 것이다.